科技日報大連1月18日電 （記者張蘊）原子級制造是推進新型工業化的核心“根技術”，然而卻一直面臨技術瓶頸。記者18日從大連理工大學獲悉，該校科研團隊研發出國內首款具有自主知識產權的等離子體工藝腔室仿真平台（MAPS）。該平台可在虛擬世界中復現真實的制造過程，以實現產品的提前研發和性能預判。

大連理工大學集成電路學院黨委書記、博士生導師高飛介紹，MAPS可以針對產業界的原子級制造裝備進行全方位仿真，包括外控參數、裝置幾何結構，並將給出最終演化結果，從而節省整個部件研發時間，提高研發效率。團隊依托大連理工大學學科優勢，展開了多年技術攻關、數萬次等離子體實驗測試。目前，該技術已應用於拓荊科技、華為等多家企業，較國外同類型產品節約經濟成本15%、節約時間成本20%。

大連理工大學國家重點學科等離子體物理學科教授張鈺如說：“團隊和國內許多頭部企業都開展了深入合作，建立了校企聯合實驗室，這意味著學生在校期間就可以深入企業參與聯合技術攻關項目，這一模式將為相關產業培養出更多的高精尖緊缺人才。”

目前，遼寧省將原子級制造納入未來產業重點方向，依托重點實驗室群等載體，組織開展原子級制造技術專題路演推介等活動。遼寧省科學技術廳副廳長許愛東表示：“遼寧省設立了未來產業的科技計劃，圍繞原子級制造、量子科技、具身智能等方向開展基礎研究和前沿攻關，將努力形成一批助力產業發展的‘根技術’加快實現‘換道超車’。”

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