走進位於天津市津南區的華海清科股份有限公司（以下簡稱“華海清科”），化學機械拋光、超精密減薄、離子注入等方面的集成電路關鍵裝備正在有序進行模塊組裝、整機集成和性能測試。

　　“我們正在開展化學機械拋光后清洗關鍵技術與機理研究，優化清洗工藝參數，解決拋光后晶圓表面的顆粒殘留與缺陷難題，著力提升清洗效果的穩定性和一致性。”華海清科博士后科研工作站負責人說。

　　2013年落戶津南區以來，華海清科的產品已廣泛應用於國內集成電路生產線，為我國集成電路產業自主可控發展提供重要支撐。

　　一家企業的成長，離不開一個區域對產業鏈的深耕。“我們打造了海河集成電路設備產業主題園區，出台相關配套支持政策。”津南區工業和信息化局黨組書記、局長詹珽介紹，近年來，興華清科、帝京半導體、銳潔機器人等鏈上企業加速集結，涵蓋裝備制造、材料研發、真空系統、半導體器件、自動化設備及封測裝備等多個領域，形成了以華海清科為龍頭，上下游企業協同發展的集成電路設備產業格局。2025年園區總產值達54.3億元，同比增長16.14%。

　　“在園區內就有機械手臂、復雜結構機加件等關鍵部件的供應方，完備的產業鏈條讓我們省去了‘東奔西跑’的麻煩，更增強了產業競爭力與市場主動權。”華海清科相關負責人說。

　　近年來，津南區著力建設有引領作用的主題產業園區，打造特色產業集群，推進重點產業向重點園區聚集、重點園區向特色產業聚焦，鏈園結合，以園聚鏈，形成“乘法效應”。2024年，海河教育園、天開津南園與津南經開區“三園合一”，以制度創新驅動要素聚合，厚植智能產業發展沃土。

　　“我們將充分發揮制造業基礎優勢，打造人工智能技術供給區和智能網聯產業集群，加快人工智能學科人才引育，培育優質企業和平台載體，採取‘孵化+服務+引育+推薦’多元路徑推動智能產業集聚。”詹珽說。

　　（連蓮、董瑩瑩參與採寫）

　　《 人民日報 》（ 2026年05月28日 15 版）