人民網北京8月3日電 （記者夏曉倫）“臨港新片區將繼續以優質的營商環境和服務保障，全力支持片區企業扎根臨港、放眼全球、做大做強。”中國（上海）自由貿易試驗區臨港新片區管理委員會黨工委副書記吳曉華在近日舉行的中微大廈落成儀式上表示。

據了解，臨港新片區是國家戰略承載地，當前已建成覆蓋芯片設計、先進制造、關鍵裝備、材料、封測的全鏈條產業生態，產業產值多年保持高速增長，依托靶向扶持政策、全周期產業服務，持續集聚鏈主企業、上下游配套與科創資本，全力建設綜合性集成電路產業創新基地。

中微公司創始人、董事長兼總經理尹志堯在儀式上介紹，公司正加速推進“有機生長”與“外延拓展”相結合的三維立體生長戰略。力爭到2035年，在規模上、產品競爭力和客戶滿意度上成為全球第一梯隊的半導體設備公司。屆時，生產和研發廠房總面積將達到90萬平方米，是原有廠房面積的30倍，年生產能力將提升至700億元以上。

據介紹，落成投入使用的中微大廈位於滴水湖核心科創區，佔地25畝、建筑面積10.5萬平方米，主樓高100米，是臨港科技城標志性建筑。樓宇按照LEED金級、綠色建筑二星標准建造，搭載智能運維系統，配套景觀花園、開放式餐飲休閑空間，頂層400米LED展示長廊兼具科創展示與公共服務功能，兼顧低碳發展與產城融合需求。

公開資料顯示，22年來，中微公司深耕原子級微觀加工設備研發，累計推出54類高端半導體裝備，超8800台反應台實現海內外產線量產，連續14年保持年均35%以上營收增長。2025年企業研發投入達37.4億元，佔營收30.2%﹔近期完成杭州眾硅並購，補齊CMP設備產品線，實現刻蝕、薄膜、拋光裝備全覆蓋，科創板簡易並購重組案例為產業資源整合提供示范。依托智微資本等產業基金，公司持續撬動產業鏈創新資源。

活動同步舉行上海中微兒童公益基金會揭牌。多年來企業深耕助老、助學、兒童大病救助等公益事業，以產業發展反哺社會民生。業內人士認為，此次大廈啟用，將進一步釋放龍頭企業創新輻射效應，加速臨港集成電路全產業鏈強鏈補鏈，助力世界級產業集群建設。