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我國建立納米級角度國家一級標准物質

2024年10月09日17:14 | 來源:人民網
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人民網北京10月9日電 (記者孫博洋)記者從市場監管總局了解到,近日,市場監管總局新批准二維鉻納米柵格標准物質、二維硅納米柵格標准物質、一維硅納米光柵標准物質3項國家一級標准物質,能夠同時滿足納米制造產業角度和長度校准需求,為新一代信息技術、新材料、生物制造、高端裝備等領域的納米制造提供精准“標尺”。

納米制造,測量先行。研制高精度的納米級標准物質,是打造高准確度納米測量傳遞鏈,提升國產納米制造產品質量可靠性的關鍵。

據標准物質研制單位同濟大學相關專家介紹,二維鉻納米柵格標准物質突破性地採用分步沉積原子光刻技術,制備難度較大,可直接溯源到自然界量子化物理常數(鉻原子躍遷頻率),角度絕對准確性在0.001°量級,相當於把一個蛋糕按扇形均分成三十六萬份。二維鉻納米柵格的結構面積一般為300μm×300μm,在沒有劃傷或破壞的狀況下,每次使用2μm×2μm,不重復使用測量區域次數可達20000次以上。可應用於晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設備校准,也可應用於對超精密位移傳感器多種參數的光柵干涉法校准。

市場監管總局相關負責人表示,納米級角度標准物質的研制成功,實現了納米測量領域的扁平化計量,避免傳統逐級量值傳遞方式造成的誤差累積放大,能夠通過在線校准直接將高精度計量數據直接傳遞到企業計量現場,為我國納米制造產業高質量發展提供有力支撐。

(責編:方經綸、高雷)
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