人民網北京9月15日電 （方經綸）據工業和信息化部官網消息，為促進首台（套）重大技術裝備創新發展和推廣應用，加強產業、財政、金融、科技等國家支持政策的協同，工業和信息化部近日印發《首台（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）》（以下簡稱《指導目錄》），其中在電子專用裝備目錄下，“集成電路生產裝備”包括氟化氬光刻機，光源193納米，分辨率≦65nm，套刻≦8nm。

按照市場監管總局等5部門於今年4月聯合印發的《中國首台（套）重大技術裝備檢測評定管理辦法（試行）》，重大技術裝備是國之重器，事關綜合國力和國家安全。中國首台（套）重大技術裝備，是指國內實現重大技術突破、擁有知識產權、尚未取得明顯市場業績的裝備產品，包括整機設備、核心系統和關鍵零部件等。

《首台（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）》截圖。

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