科技日報北京10月8日電 （記者付麗麗）8日，記者從國家市場監管總局獲悉，該局近日新批准二維鉻納米柵格標准物質、二維硅納米柵格標准物質、一維硅納米光柵標准物質3項國家一級標准物質，這些物質能夠同時滿足納米制造產業角度和長度校准需求，為新一代信息技術、新材料、生物制造、高端裝備等領域的納米制造提供精准“標尺”。

　　據標准物質研制單位同濟大學相關專家介紹，研制高精度納米級標准物質，是打造高准確度納米測量傳遞鏈、提升國產納米制造產品質量可靠性的關鍵。二維鉻納米柵格標准物質突破性地採用分步沉積原子光刻技術，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數（鉻原子躍遷頻率），角度絕對准確性在0.001°量級，相當於把一個蛋糕按扇形均分成36萬份﹔二維鉻納米柵格的結構面積一般為300μm（微米）×300μm（微米），在沒有劃傷或破壞的狀況下，每次使用2μm（微米）×2μm（微米），不重復使用測量區域次數可達20000次以上。其可應用於晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設備校准，也可應用於對超精密位移傳感器多種參數的光柵干涉法校准。

　　納米級角度標准物質的研制成功，實現了納米測量領域的扁平化計量，可通過在線校准直接將高精度計量數據傳遞到企業計量現場，避免傳統逐級量值傳遞方式造成的誤差累積放大，將為我國納米制造產業高質量發展提供有力支撐。

　　據了解，國家市場監管總局將持續強化納米測量領域標准物質研制應用，進一步解決納米制造“測不了、測不全、測不准”問題，為筑牢新興產業和未來產業技術基礎提供支撐保障。

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