2014年02月17日09:06
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东丽2014年2月12日宣布,采用单层碳纳米管(CNT)制造的涂布型TFT获得了较高的工作性能,载流子迁移率达到13cm2/Vs,电流的导通/截止比达到106。东丽表示,计划2016年前后实现实用化。
东丽试制的单层CNT-TFT(摄影:东丽)
东丽在日本新能源产业技术综合开发机构(NEDO)的项目中,进行着利用单层CNT与有机半导体的复合化开发涂布型TFT的研究。这是一种通过抑制单层CNT凝集,使溶液中的单层CNT实现均匀分散的技术。
提高单层CNT的半导体纯度,载流子迁移率相应提高且偏差减小
除了前面提到的半导体复合化及均匀分散化技术之外,此次在制造TFT时还采用了技术研究联盟单层CNT融合新材料研究开发机构(TASC)开发的、具有极高半导体纯度的单层CNT。由此成功提高了TFT的载流子迁移率。
另外,通过利用这种单层CNT,还将TFT间的特性偏差降低到了原来的1/4。此前,材料中的金属型单层CNT会使电极间发生短路,导致偏差增大,而此次大幅减小了短路的发生概率,从而减少了特性偏差。
东丽表示,将在2014年3月17~20日举行的第61届应用物理学会春季学术演讲会上发布此次的成果。(作者:野泽 哲生,日经技术在线!供稿)