2014年02月17日09:06
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東麗2014年2月12日宣布,採用單層碳納米管(CNT)制造的涂布型TFT獲得了較高的工作性能,載流子遷移率達到13cm2/Vs,電流的導通/截止比達到106。東麗表示,計劃2016年前后實現實用化。
東麗試制的單層CNT-TFT(攝影:東麗)
東麗在日本新能源產業技術綜合開發機構(NEDO)的項目中,進行著利用單層CNT與有機半導體的復合化開發涂布型TFT的研究。這是一種通過抑制單層CNT凝集,使溶液中的單層CNT實現均勻分散的技術。
提高單層CNT的半導體純度,載流子遷移率相應提高且偏差減小
除了前面提到的半導體復合化及均勻分散化技術之外,此次在制造TFT時還採用了技術研究聯盟單層CNT融合新材料研究開發機構(TASC)開發的、具有極高半導體純度的單層CNT。由此成功提高了TFT的載流子遷移率。
另外,通過利用這種單層CNT,還將TFT間的特性偏差降低到了原來的1/4。此前,材料中的金屬型單層CNT會使電極間發生短路,導致偏差增大,而此次大幅減小了短路的發生概率,從而減少了特性偏差。
東麗表示,將在2014年3月17∼20日舉行的第61屆應用物理學會春季學術演講會上發布此次的成果。(作者:野澤 哲生,日經技術在線!供稿)