东京大学开发出比羽毛还要轻软的薄膜传感器

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日本东京大学工学研究科教授染谷隆夫等宣布，开发出了比羽毛更轻更软的薄膜传感器。该传感器单位面积重量只有3g/m2，相当于普通纸张的1/27左右。厚度也只有2μm，柔软可弯曲，因此可贴在人体等曲面上使用，并无太多不适感。染谷等人希望能将其用作持续计测人体信息的医疗及健康用传感器。

东京大学染谷隆夫教授公开此次开发的薄膜传感器。

以往，医疗及健康用途的传感器及电子电路一直使用硅（Si）等硬质电子材料来制作。对于直接接触人体肌肤的部分，人们一直期待出现轻柔没有佩戴感的部件。

因此，东京大学确立了在厚度为1.2μm的塑料薄膜基板上制作有机TFT阵列的技术，并将该有机TFT阵列与压力传感器元件组合，开发出了薄膜压力传感器。东京大学曾在2010年开发出了厚度为25μm的有机TFT阵列薄膜，此次将厚度减薄到了不到其1/10的2μm。

为了展示此次的薄膜传感器比羽毛还轻，让传感器和羽毛同时从同一高度落到地板上。可以看到，传感器片材向地板下落的速度比羽毛还慢。

在记者会上，现场做了将薄膜传感器贴在手上的演示。

作为有机TFT阵列薄膜的应用示例，东京大学此次只开发了压力薄膜传感器。染谷说，今后，通过将多种传感器元件与有机TFT阵列组合，“还能开发出能够计测肌电、心电、体温、心律、血压等人体信息的医疗及健康用传感器”。

此次研究由染谷等人与奥地利林茨约翰开普勒大学Siegfried Bauer教授的研究小组共同进行。研究成果论文发表在7月25日的《Nature》杂志上。（日经技术在线！ 供稿）