【納米壓印新潮流】（上）增大面積擴展新用途

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“納米壓印”是把刻著精細圖案的模具像圖章一樣按壓到基板上，從而轉印圖案的技術。最近，該技術的實用化案例越來越多。其背景是，能以低成本制作大面積模具的技術開發取得了進步。納米壓印開始在多種新用途推進實用化，在半導體微細加工領域的應用也在考慮之中。

“納米壓印”*是通過像蓋章一樣把刻著精細圖案的模具按壓到基板等的上面，大量轉印該圖案的技術。2014年，該技術將在兩方面取得較大進展。

*納米壓印：把刻著微細凹凸等圖案的模具按壓在薄薄地涂了樹脂的基板上，將圖案轉印到樹脂上的方法。包括“熱納米壓印”和“光納米壓印”兩種，前者是在轉印時加熱、使熱可塑性樹脂變形，后者是向紫外線（UV）硬化樹脂照射UV、使之硬化。熱納米壓印也被稱作熱壓。美國普林斯頓大學教授Stephen Y. Chou於1995年証實，通過熱納米壓印可獲得10nm∼50nm的高分辨率，從那時起，納米壓印作為劃時代的微細加工技術開始受到關注。

第一，隨著各種新用途的開拓以及大面積模具的開發，納米壓印的用途將快速擴大，量產規模也隨之擴大。

圖1：納米壓印的大面積用途快速擴大 本圖為納米壓印的主要用途。該技術最初是作為半導體制造工藝之一開發的，最近，新的用途、尤其是以大面積為優勢的用途快速增加，其中部分用途已開始實用化。

第二，有望作為最尖端的半導體制造技術開始投入實用。佳能2014年2月宣布收購美國的納米壓印設備廠商Molecular Imprints（MII）。納米壓印有望在2015年被用於NAND閃存的制造。

發展的關鍵在於面積大

有的廠商在開拓納米壓印技術的新用途、推進模具等的大面積化，有的廠商在面向納米壓印技術最初的用途——半導體制造推進開發，二者相比，前者的發展勢頭更加顯著。

從事大面積模具制造的日本綜研化學公司新規事業部NIP產品項目營業部主任吉原功介紹說：“用途從2012年下半年開始迅速擴大，量產項目也越來越多。估計2014年會進一步擴大。”同樣面向新用途開發納米壓印設備的SCIVAX公司代表董事社長田中覺也說，“制造受托服務的訂單從大約3年前開始增加，2013年的增幅尤其大，估計2014年會進一步加速”。

納米壓印的新用途包括形成液晶面板的防反射層、偏光膜、提高有機EL面板的光提取效率、車窗玻璃等的防水加工、從微細微透鏡陣列到大型鏡頭的光學部件，等等。立體細胞培養等全新用途也很多。