可預見的超薄玻璃液晶制造技術

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日本旭硝子（AGC）在“SID 2014”展會上展出了厚僅0.2mm的第5代（G5）TFT陣列基板、彩色濾光片基板以及由這兩種基板貼合制成的厚0.4mm、5英寸、500ppi的全高清液晶單元和面板（圖1）。系採用載體玻璃技術（Carrier Glass Technology），利用客戶的生產線試制成的。

圖1：AGC（旭硝子）展示載體玻璃技術（Carrier Glass Technology）。在G5尺寸（1300mm×1100mm）、厚0.5mm的載體玻璃上貼合厚0.2mm的超薄玻璃並在實際生產線上試制而成的彩色濾光片基板（左）和TFT陣列基板（右）。另外，在兩基板中間靠后位置展示的是將這2塊基板貼合制成的厚0.4mm、5英寸、500ppi的液晶單元和面板。AGC在展示過程中指出，還可以處理厚0.1mm的玻璃。

旭硝子在SID 2012及SID 2013上，都積極展示了正在開發的載體玻璃，並一直在嘗試實用化。而且此次証實不經過研磨工藝，0.4mm厚的液晶單元及面板即可實用化。

圖2：康寧展出的載體玻璃基板。這是在厚0.4∼0.7mm的載體玻璃上貼厚0.1mm的超薄玻璃制成的G1尺寸的基板（前面和后面）。在后面的基板前面，通過視頻展示了生產線各工序的流程和剝離超薄玻璃時的情景。

美國康寧公司也在2014年年初展出了載體玻璃（圖2）。關於厚度在0.1mm以下的顯示器用超薄玻璃，旭硝子和康寧已在SID 2011上展示了卷對卷（R2R）工藝，並對未來R2R實用化充滿期待。之后曾探討過要盡快實現超薄板玻璃，R2R技術和載體玻璃技術哪個更有效的問題。而此次則實証了可直接使用原有的液晶制造裝置的載體玻璃技術的有效性。（作者：北原 洋明，日經技術在線！供稿）